发明授权
- 专利标题: 一种基于MEMS硅-玻璃工艺的七电极电导率传感器的制造方法
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申请号: CN201510993098.X申请日: 2015-12-24
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公开(公告)号: CN105629076B公开(公告)日: 2018-03-06
- 发明人: 刘海韵 , 魏爽 , 郭洁 , 王娴珏
- 申请人: 河海大学
- 申请人地址: 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
- 专利权人: 河海大学
- 当前专利权人: 河海大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
- 代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理商 祁文彦
- 主分类号: G01R27/22
- IPC分类号: G01R27/22 ; B81C1/00
摘要:
本发明公开了一种基于MEMS硅‑玻璃工艺的七电极电导率传感器的制造方法,包括在N型硅片上淀积金属电极,在玻璃片上淀积金属电极,对金属电极的端面进行金‑金键合,使圆柱型空腔形成封闭的电导池等步骤,本发明提供的七电极电导率传感器的制造方法简单,体积小巧,基于MEMS加工技术,可大批量生产,降低生产成本,加工精度高,可靠性高,通用性强。
公开/授权文献
- CN105629076A 一种基于MEMS硅-玻璃工艺的七电极电导率传感器的制造方法 公开/授权日:2016-06-01