一种基于MEMS硅-玻璃工艺的七电极电导率传感器的制造方法
摘要:
本发明公开了一种基于MEMS硅‑玻璃工艺的七电极电导率传感器的制造方法,包括在N型硅片上淀积金属电极,在玻璃片上淀积金属电极,对金属电极的端面进行金‑金键合,使圆柱型空腔形成封闭的电导池等步骤,本发明提供的七电极电导率传感器的制造方法简单,体积小巧,基于MEMS加工技术,可大批量生产,降低生产成本,加工精度高,可靠性高,通用性强。
0/0