发明授权
- 专利标题: 光检测装置
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申请号: CN201610044557.4申请日: 2012-08-02
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公开(公告)号: CN105633192B公开(公告)日: 2018-08-28
- 发明人: 永野辉昌 , 细川畅郎 , 铃木智史 , 马场隆
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2011-232106 2011.10.21 JP
- 主分类号: H01L31/107
- IPC分类号: H01L31/107 ; G01T1/24 ; H01L27/144 ; H01L31/02
摘要:
半导体光检测元件(10)包含:多个雪崩光电二极管(APD),其以盖革模式动作并且形成在半导体基板(1N)内;灭弧电阻(R1),其相对于各个雪崩光电二极管(APD)串联连接并且配置在半导体基板(1N)的主面(1Na)侧;以及多个贯通电极(TE),其与灭弧电阻(R1)电连接且从主面(1Na)侧至主面(1Nb)侧为止贯通半导体基板(1N)而形成。搭载基板(20)包含对应于每个贯通电极(TE)而配置在主面(20a)侧的多个电极(E9)。贯通电极(TE)与电极(E9)经由凸点电极(BE)而电连接,且半导体基板(1N)的侧面(1Nc)与玻璃基板(30)的侧面(30c)成为同一平面。
公开/授权文献
- CN105633192A 光检测装置 公开/授权日:2016-06-01