铜铟镓硒薄膜表面刻蚀的电化学处理方法
摘要:
本发明涉及太阳能电池技术领域,具体公开了铜铟镓硒薄膜表面刻蚀的电化学处理方法,包括步骤:将铜铟镓硒薄膜硒化后放置在电化学工作站,仅Mo层连接工作电极,在无水乙醇中浸泡;处理溶液为盐、无机酸和去离子水的混合溶液,盐为钠盐、钾盐、镁盐、锌盐或铜盐的任一种,无机酸调节处理溶液的pH值为1~6;铜铟镓硒薄膜放入处理溶液,施加电信号,处理后取出用去离子水冲洗,高纯氮气吹干,电信号为循环伏安电信号、恒压电信号、恒流电信号、脉冲电压电信号或脉冲电流电信号的任一种。本发明的方法能够选择性溶解铜铟镓硒薄膜表面的二次相(CuxSe),优化薄膜的表面质量,克服了腐蚀溶液体系对人体有害且不环保的缺点,利于工业化推广。
公开/授权文献
0/0