一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构
Abstract:
本发明公开了一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构,涉及半导体材料制备领域。本发明包括加热器、坩埚、坩埚托、上坩埚杆,坩埚及坩埚托置于加热器热场中,上坩埚杆设于坩埚托的底部,上坩埚杆为中空结构,坩埚杆的下端设有密封结构,上坩埚杆的中空腔形成密封腔,热电偶穿过密封结构使热电偶测量端位于上坩埚杆的密封腔内的顶部;还设有中空的下坩埚杆,下坩埚杆的上端口与上坩埚杆的下端口为可拆卸式紧固连接结构。本发明能有效阻隔在高温高压情况下腐蚀性或挥发性气体渗入上坩埚杆腔内,防止热电偶测量端合金探头被腐蚀断或由于与渗入气体反应降低熔点导致其熔断,保证整个合成及晶体生长过程中温度精准的反馈和显示,提高晶体材料成品率。
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