台阶区域覆盖有超导覆盖层的超导电路结构及其制备方法
摘要:
本发明提供一种台阶区域覆盖有超导覆盖层的超导电路结构及其制备方法,包括:1)提供衬底,在衬底表面依次形成第一超导材料层、第一绝缘材料层及第二超导材料层的三层薄膜结构;2)分别刻蚀第二超导材料层、第一绝缘材料层及第一超导材料层以形成下电极及约瑟夫森结;3)在步骤2)得到的结构表面形成第二绝缘材料层;4)沉积旁路电阻材料层,并刻蚀旁路电阻材料层以形成旁路电阻;5)沉积第三超导材料层,并刻蚀第三超导材料层形成配线层及超导覆盖层。本发明可以确保位于下电极表面的旁路电阻与位于第二绝缘材料层表面的旁路电阻的导通,避免出现断路故障,保证了旁路电阻连通的稳定性,提高了超导电路结构的工作性能。
0/0