发明授权
- 专利标题： 石英玻璃微缺陷检测方法
-
申请号： CN201610055734.9申请日： 2016-01-27
-
公开(公告)号： CN105717137B公开(公告)日： 2020-08-11
- 发明人: 聂兰舰 , 向在奎 , 杜秀蓉 , 张晓强 , 王蕾 , 王慧 , 刘飞翔 , 贾亚男 , 符博
- 申请人： 中国建筑材料科学研究总院
- 申请人地址： 北京市朝阳区管庄东里1号
- 专利权人： 中国建筑材料科学研究总院
- 当前专利权人： 中国建筑材料科学研究总院
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区管庄东里1号
- 代理机构： 北京鼎佳达知识产权代理事务所
- 代理商 王伟锋; 刘铁生
- 主分类号： G01N21/958
- IPC分类号： G01N21/958 ; G01N1/32
摘要：
本发明公开了一种石英玻璃微缺陷检测方法，包括如下步骤：将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光；将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀；石英玻璃样品腐蚀0.5～2小时取出并用去离子水清洗干净，利用显微镜观察检测石英玻璃样品；按上述步骤对石英玻璃样品重复腐蚀和观察，直至观察到石英玻璃样品中的缺陷或至石英玻璃样品的厚度剩余20‑30μm仍未观察到缺陷。本发明方法可检测石英玻璃中的微缺陷。
公开/授权文献
- CN105717137A 石英玻璃微缺陷检测方法 公开/授权日：2016-06-29
