发明授权
CN105729640B 刻划方法及刻划装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 刻划方法及刻划装置
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申请号: CN201510767588.8申请日: 2015-11-11
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公开(公告)号: CN105729640B公开(公告)日: 2020-02-14
- 发明人: 曾山正信
- 申请人: 三星钻石工业股份有限公司
- 申请人地址: 日本国大阪府
- 专利权人: 三星钻石工业股份有限公司
- 当前专利权人: 三星钻石工业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本国大阪府
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 沈锦华
- 优先权: 2014-260021 2014.12.24 JP
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00 ; C03B33/023 ; C03B33/07
摘要:
本发明涉及一种刻划方法及刻划装置。本发明提高刻划线的加工精度。刻划方法包括步骤(a)及步骤(b)。步骤(a)中,利用第一切刀1在基板W的上表面形成第一刻划线。第一切刀1在步骤(a)中,配置于基板W的上表面侧,在朝向基板W的方向上被施加负载。步骤(b)中,利用第二切刀2在基板W的下表面形成第二刻划线。第二切刀2在步骤(b)中,配置于基板W的下表面侧,在朝向基板W的方向上被固定。
公开/授权文献
- CN105729640A 刻划方法及刻划装置 公开/授权日:2016-07-06