发明授权
CN105742397B 一种可见光到红外光探测的宽波段光电二极管
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种可见光到红外光探测的宽波段光电二极管
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申请号: CN201610145011.8申请日: 2016-03-14
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公开(公告)号: CN105742397B公开(公告)日: 2017-07-11
- 发明人: 张有润 , 章志海 , 袁福润 , 龚宏国 , 刘影 , 张波
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 电子科技大学专利中心
- 代理商 张杨
- 主分类号: H01L31/109
- IPC分类号: H01L31/109 ; H01L31/105
摘要:
本发明涉及的光电二极管,可以扩展光的吸收波段,完成从可见光到红外光波段(400nm~1350nm)的探测,且在0.8μm~0.9μm以及1.1μm~1.35μm两个重要波段均具有较高响应性。其结构包括:含一个开口的重掺杂N型Si衬底,N型Si衬底上依次层叠有轻掺杂N型Si外延层、重掺杂P型Si、以及由本征Ge缓冲层和在其之上的重掺杂P型Ge构成的台面结构,台面上依次层叠有二氧化硅介质层和钝化层。在N型Si衬底背面设置有金属接触阴极VR,在重掺杂P型Si上设置有第一金属接触阳极VAF,在重掺杂P型Ge上设置有第二金属接触阳极VAS,轻掺杂N型Si外延层背面设置有抗反射层。
公开/授权文献
- CN105742397A 一种可见光到红外光探测的宽波段光电二极管 公开/授权日:2016-07-06
IPC分类: