一种辐射源设备，包括：用于利用气体介质加压的容器(400)，其中发射等离子体发射辐射的等离子体在通过驱动辐射(50)激发所述气体介质之后被生成，其中容器基本上可操作(66，67)以在等离子体发射辐射作为输出辐射离开容器之前从等离子体发射辐射中去除具有10‑400nm的波长的辐射。在实施例中，容器包括：可操作地将驱动辐射从容器的外部透射至容器的内部的入口辐射透射元件(64)；以及可操作地将等离子体发射辐射的至少一些从容器的内部透射至容器的外部作为输出辐射的出口辐射透射元件(65)；其中的入口辐射透射元件和出口辐射透射元件中的至少一个包括平面平行平板。