用于减少结泄漏的掺杂的氧化锌和n-掺杂
摘要:
本发明涉及用于减少结泄漏的掺杂的氧化锌和n-掺杂。一种半导体装置,包括衬底和在衬底上的包括掺杂的III-V材料的p掺杂层。n掺杂层形成于p掺杂层上,n掺杂层包括掺杂的III-V材料。接触界面层形成于n掺杂层上。接触界面层包括II-VI材料。接触金属形成于接触界面层上,以形成电子装置。
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