发明公开
- 专利标题: 用于减少结泄漏的掺杂的氧化锌和n-掺杂
- 专利标题(英): Doped zinc oxide and n- doping to reduce junction leakage
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申请号: CN201610080926.5申请日: 2016-02-05
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公开(公告)号: CN105895674A公开(公告)日: 2016-08-24
- 发明人: J·P·德索扎 , K·E·弗格尔 , J·吉姆 , S·L·马瑞尔 , D·K·萨达纳
- 申请人: 国际商业机器公司
- 申请人地址: 美国纽约
- 专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 刘倜
- 优先权: 14/620,885 2015.02.12 US
- 主分类号: H01L29/36
- IPC分类号: H01L29/36 ; H01L29/78 ; H01L21/24
摘要:
本发明涉及用于减少结泄漏的掺杂的氧化锌和n-掺杂。一种半导体装置,包括衬底和在衬底上的包括掺杂的III-V材料的p掺杂层。n掺杂层形成于p掺杂层上,n掺杂层包括掺杂的III-V材料。接触界面层形成于n掺杂层上。接触界面层包括II-VI材料。接触金属形成于接触界面层上,以形成电子装置。
公开/授权文献
- CN105895674B 用于减少结泄漏的掺杂的氧化锌和n-掺杂 公开/授权日:2019-06-14
IPC分类: