一种高速高精度二维运动平台
摘要:
本发明公开了一种直线电机驱动的高速高精度二维运动平台,该运动平台包括:X平台、Y平台和工作台,其中Y平台安装在X平台上,工作台安装在Y平台上,X平台主要包括驱动Y平台在X平台上运动的第一直线电机以及支撑Y平台运动的第一直线导轨,Y平台主要包括驱动工作台在Y平台上运动的第二直线电机以及支撑工作台运动的第二直线导轨,工作台上载有负载,本发明还包括设置于第一直线电机和第二直线电机上的磁屏蔽箱体,用于减少电机的磁漏。通过上述机构,使直线电机定子的磁场被有效屏蔽,从而减小电机漏磁产生的不利影响,并实现工作台在二维方向上的高速、高精度控制。
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