一种半导体设备及其制作方法
摘要:
一种半导体器件,尤其是采用以铝硅酸盐为基本成分的钝化半导体器件,如氧化铅铝硅酸盐玻璃,金属氧化物玻璃保护层,适用于高压应用。为了增加该半导体器件在反向偏压和高温热应力下的可靠性,该铝硅酸盐玻璃钝化层常常含有浓度在100ppm(mol,摩尔百分数)到1000ppm(mol,摩尔百分数)的氟。
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