发明公开
- 专利标题: 电阻式随机存取存储器及其制造方法
- 专利标题(英): Resistive random access memory and method for manufacturing the same
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申请号: CN201510067873.9申请日: 2015-02-09
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公开(公告)号: CN105990392A公开(公告)日: 2016-10-05
- 发明人: 徐懋腾 , 黄丘宗
- 申请人: 力晶科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区
- 专利权人: 力晶科技股份有限公司
- 当前专利权人: 力晶积成电子制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陈小雯
- 优先权: 103146539 2014.12.31 TW
- 主分类号: H01L27/24
- IPC分类号: H01L27/24 ; H01L45/00
摘要:
本发明公开一种电阻式随机存取存储器及其制造方法,该电阻式随机存取存储器包括基底、介电层与至少一存储单元串。介电层设置于基底上。存储单元串包括多个存储单元与至少一第一内连线结构。存储单元垂直相邻地设置于介电层中,且各存储单元包括第一导线、第二导线与可变电阻结构。第二导线设置于第一导线的一侧,且第二导线的上表面高于第一导线的上表面。可变电阻结构设置于第一导线与第二导线之间。在垂直相邻的存储单元中的可变电阻结构彼此隔离。第一内连线结构连接垂直相邻的第一导线。
公开/授权文献
- CN105990392B 电阻式随机存取存储器及其制造方法 公开/授权日:2019-02-05
IPC分类: