发明公开
- 专利标题: 准全程补偿的激光回馈干涉仪
- 专利标题(英): Quasi full compensation laser feedback interferometer
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申请号: CN201610477872.6申请日: 2016-06-27
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公开(公告)号: CN106017307A公开(公告)日: 2016-10-12
- 发明人: 张书练 , 徐玲
- 申请人: 南京法珀仪器设备有限公司
- 申请人地址: 江苏省南京市建邺区汉中门大街151号(西城广场五楼5212室)
- 专利权人: 南京法珀仪器设备有限公司
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市建邺区汉中门大街151号(西城广场五楼5212室)
- 代理机构: 深圳市鼎言知识产权代理有限公司
- 代理商 娜拉
- 主分类号: G01B9/02
- IPC分类号: G01B9/02
摘要:
本发明提供一种准全程补偿的激光回馈干涉仪,包括:一激光模组输出两束同向且相互平行的激光;一分光镜使激光模组输出的两束激光透射后成为第一透射光及第二透射光;一声光移频模组对第一透射光及第二透射光进行移频;一汇聚透镜将第一透射光及第二透射光汇聚;一第一发散透镜将汇聚后的第一透射光及第二透射光分离;一准直模组使分离后的第一透射光及第二透射光准直且相互平行;一参考镜将第一透射光反射后沿原路返回第一激光器,第二透射光被待测目标反射后沿原路返回第二激光器;一光电探测模组将第一反射光及第二反射光转换为电信号;以及一信号处理系统,将光电探测模组输入的电信号进行处理。本发明能够准确测量远距离待测目标的位移。
公开/授权文献
- CN106017307B 准全程补偿的激光回馈干涉仪 公开/授权日:2018-12-11