准全程补偿的激光回馈干涉仪
摘要:
本发明提供一种准全程补偿的激光回馈干涉仪,包括:一激光模组输出两束同向且相互平行的激光;一分光镜使激光模组输出的两束激光透射后成为第一透射光及第二透射光;一声光移频模组对第一透射光及第二透射光进行移频;一汇聚透镜将第一透射光及第二透射光汇聚;一第一发散透镜将汇聚后的第一透射光及第二透射光分离;一准直模组使分离后的第一透射光及第二透射光准直且相互平行;一参考镜将第一透射光反射后沿原路返回第一激光器,第二透射光被待测目标反射后沿原路返回第二激光器;一光电探测模组将第一反射光及第二反射光转换为电信号;以及一信号处理系统,将光电探测模组输入的电信号进行处理。本发明能够准确测量远距离待测目标的位移。
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