一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法,属于微流体推进技术和微机电系统(MEMS)领域,用于微小卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。该推进器使用到了绝缘体上硅(SOI,Silicon‑On‑Insulator)材料。目前大部分推进器均使用固体推进剂获得推力,不能精确控制推进量,而本发明的压力腔密封在SOI硅片的埋氧层和玻璃片之间,可根据需要调整压力腔内密封气体的压力,能达到精确控制推进量的效果。本发明提出的制备工艺目前已经很成熟,易于实现批量加工并可根据压力腔所需压力进行工艺调整。
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