Invention Publication
CN106043743A 一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法
无效 - 撤回
- Patent Title: 一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法
- Patent Title (English): Non-gunpowder thermal expansion type miniature propeller and preparation method thereof
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Application No.: CN201610389895.1Application Date: 2016-06-03
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Publication No.: CN106043743APublication Date: 2016-10-26
- Inventor: 袁建平 , 谢建兵 , 周金秋 , 郝永存
- Applicant: 西北工业大学
- Applicant Address: 陕西省西安市友谊西路127号
- Assignee: 西北工业大学
- Current Assignee: 西北工业大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市友谊西路127号
- Agency: 西北工业大学专利中心
- Agent 吕湘连
- Main IPC: B64G1/26
- IPC: B64G1/26 ; B64F5/00

Abstract:
本发明公开了一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法,属于微流体推进技术和微机电系统(MEMS)领域,用于微小卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。该推进器使用到了绝缘体上硅(SOI,Silicon‑On‑Insulator)材料。目前大部分推进器均使用固体推进剂获得推力,不能精确控制推进量,而本发明的压力腔密封在SOI硅片的埋氧层和玻璃片之间,可根据需要调整压力腔内密封气体的压力,能达到精确控制推进量的效果。本发明提出的制备工艺目前已经很成熟,易于实现批量加工并可根据压力腔所需压力进行工艺调整。
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