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公开(公告)号：CN107607098B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201710964977.9
申请日：2017-10-17
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院
IPC: G01C19/04
Abstract: 本发明涉及了一种MEMS旋转调制陀螺芯片制备方法，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该制备过程利用微纳米加工方法将MEMS陀螺和旋转调制平台进行一体化加工，避免了原有旋转调制陀螺体积大、笨重、装配复杂等缺点，该制备方法获得MEMS旋转调制陀螺体积仅为几个立方毫米，具有体积小，免装配以及批量化制造等特点。
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公开(公告)号：CN107607098A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710964977.9
申请日：2017-10-17
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院
IPC: G01C19/04
Abstract: 本发明涉及了一种MEMS旋转调制陀螺芯片制备方法，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该制备过程利用微纳米加工方法将MEMS陀螺和旋转调制平台进行一体化加工，避免了原有旋转调制陀螺体积大、笨重、装配复杂等缺点，该制备方法获得MEMS旋转调制陀螺体积仅为几个立方毫米，具有体积小，免装配以及批量化制造等特点。
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公开(公告)号：CN107796383B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201710961356.5
申请日：2017-10-17
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明公开了一种芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。陀螺由用于支撑旋转平台并维持其转动的底座以及SOI硅片构成；所述底座由玻璃片1以及溅射在玻璃片上表面的第一金属电极2、第二金属电极3组成；所述SOI硅片的器件层形成微机械陀螺4，导线组5以及驱动电极6、驱动检测电极7、第一敏感检测电极8、第二敏感检测电极9；基底层形成旋转调制平台。本发明利用同一张SOI圆片的不同层形成一体化的微机械陀螺及其旋转调制平台，极大地降低了旋转调制式陀螺的体积，提高了集成度；相比原有的该类陀螺，体积减小了大约2个数量级，形成了芯片级旋转调制式微机械陀螺。
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公开(公告)号：CN107796383A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710961356.5
申请日：2017-10-17
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5656
Abstract: 本发明公开了一种芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。陀螺由用于支撑旋转平台并维持其转动的底座以及SOI硅片构成；所述底座由玻璃片1以及溅射在玻璃片上表面的第一金属电极2、第二金属电极3组成；所述SOI硅片的器件层形成微机械陀螺4，导线组5以及驱动电极6、驱动检测电极7、第一敏感检测电极8、第二敏感检测电极9；基底层形成旋转调制平台。本发明利用同一张SOI圆片的不同层形成一体化的微机械陀螺及其旋转调制平台，极大地降低了旋转调制式陀螺的体积，提高了集成度；相比原有的该类陀螺，体积减小了大约2个数量级，形成了芯片级旋转调制式微机械陀螺。
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公开(公告)号：CN117308904A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310672503.2
申请日：2023-06-08
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种高加工鲁棒性的异环宽MEMS多环陀螺，属于微机电系统领域。该MEMS多环陀螺在平面内拥有全对称结构，由中心固定锚点、多圈的同心圆环结构、辐条结构和电极组成。所述的中心固定锚点为圆形，由外部结构固定，和多圈的同心圆环结构拥有同一圆心，最内圈同心环通过辐条和锚点相连。所述的多圈同心圆环之间通过辐条相连，同心圆环宽度可根据需求调整，各个同心圆环之间的间距不等。所述的多圈的同心圆环结构分为单环和双环结构，每一对双环结构之间通过短辐条连接，每两对双环之间由长辐条连接。双环结构分为壁厚较薄部分和壁厚较厚部分，辐条只与薄壁结构相连，未与辐条相连结构为壁厚较厚部分。本发明的有益效果是：该陀螺通过不等环宽的设计方案，在保证高品质因数的情况下，有效降低加工误差产生的频率裂解，提高陀螺加工鲁棒性，进而达到提升陀螺性能的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116753931A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310672987.0
申请日：2023-06-08
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明公开了一种低热弹性阻尼的重组型双辐条MEMS多环陀螺，属于微机电系统领域。该MEMS多环陀螺在平面内拥有全对称结构，由中心固定锚点、多圈的同心圆环结构、辐条结构和电极组成。所述的中心固定锚点为圆形，由外部结构固定，和多圈的同心圆环结构拥有同一圆心，最内圈同心环通过辐条和锚点相连。所述的多圈同心圆环之间通过辐条相连，同心圆环宽度可根据需求调整，各个同心圆环之间的间距不等。所述的辐条结构包括单直辐条、双直辐条，重组型双直辐条，相同环间辐条沿环周向均匀分布，相邻环间辐条所在轴线相差22.5°。其中最外环与由外向内第一环由单直辐条连接，最内环和锚点由双直辐条连接，其余环通过重组型双直辐条相连。该陀螺拥有独特的重组型双辐条，延长传热路径以减少辐条处的热能传递，从而改变陀螺内部温度和热通量分布；降低了器件热弹性阻尼；提高陀螺的灵敏度，减小零偏不稳定性。
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公开(公告)号：CN107569242A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710573122.3
申请日：2017-07-14
Applicant: 西北工业大学
IPC: A61B5/151
Abstract: 本发明涉及一种无重力环境下使用的安全、方便的防泄漏液体通用采样装置及其进样接口，其包括注射器针头主体部分1、后端护套2、前段护套3、吸附垫及其容框4、类锥形常闭进样口5、样品板上吸附性材料6和可伸缩弹簧7。本发明通过护套上的类螺纹连接控制针头的采样深度,以适应不同深度的采样工作；采样完成后,针头收入护套,可有效避免针尖暴露在外而造成的事故发生；在收入过程中,针尖上粘附的残留试剂将由吸附垫吸收，避免在失重情况下的试剂泄漏飘浮带来潜在危害；此采样针头具有通用性,可适应不同的采样装置,可搭配如移液枪、普通注射器等器械使用；锥形常闭结构进样接口及其吸附垫，可以有效防止样品试剂泄漏。
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公开(公告)号：CN106043743A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610389895.1
申请日：2016-06-03
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: B64G1/26
Abstract: 本发明公开了一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法，属于微流体推进技术和微机电系统(MEMS)领域，用于微小卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。该推进器使用到了绝缘体上硅(SOI，Silicon‑On‑Insulator)材料。目前大部分推进器均使用固体推进剂获得推力，不能精确控制推进量，而本发明的压力腔密封在SOI硅片的埋氧层和玻璃片之间，可根据需要调整压力腔内密封气体的压力，能达到精确控制推进量的效果。本发明提出的制备工艺目前已经很成熟，易于实现批量加工并可根据压力腔所需压力进行工艺调整。
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公开(公告)号：CN104986357A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510280263.7
申请日：2015-05-28
Applicant: 西北工业大学
IPC: B64G1/24
Abstract: 本发明公开了一种硅基自密封式微推进器及其制备方法，用于皮卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。该推进器主要包括位于SOI硅片器件层的喷嘴阵列部分和衬底层的燃烧室阵列部分、玻璃片上表面的点火器阵列部分，喷嘴阵列部分是在SOI硅片的器件层部分利用湿法腐蚀形成的；燃烧室阵列部分是在SOI硅片的衬底层利用干法刻蚀形成的空腔阵列组成的，各空腔内填充固体推进剂；点火器阵列部分由玻璃上表面溅射的点火电阻阵列、点火导线和焊盘组成，各点火电阻阵列与各燃烧室阵列位置相对应。本发明的有益效果是：将燃烧室14密封在SOI硅片埋氧层10和玻璃片9之间，有效防止其受潮、推进剂脱落或者其他外界影响，提高了点火的成功率。
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公开(公告)号：CN116124109A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211658699.1
申请日：2022-12-22
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度频率调制陀螺，属于微机电系统领域。具体包括驱动质量块结构、检测框架结构、弹性梁结构、杠杆耦合结构、杠杆放大结构、支撑锚点、双端固支谐振梁结构、谐振梁驱动结构、驱动模态驱动电极、驱动模态检测电极、检测模态反馈电极、双端固支谐振梁驱动电极、梳齿对结构等组成部分。本发明采用的高灵敏度频率调制陀螺结构，不仅将驱动模态和同向干扰模态之间的频差拉大，减小干扰信号，还实现了数字信号输出，抗干扰能力强，避免了量化噪声，同时通过杠杆放大结构将陀螺检测模态受到的科氏力进行放大，增大了有用信号，上述优点可提高陀螺的信噪比和灵敏度，有利于陀螺精度的提升。
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