- 专利标题： 一种基板及其制备方法、显示面板及其制备方法
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申请号： CN201610677868.4申请日： 2016-08-16
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公开(公告)号： CN106057829B公开(公告)日： 2019-05-03
- 发明人: 宫奎 , 李贺飞 , 王铖铖 , 董必良 , 李纪龙
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号： H01L27/12
- IPC分类号： H01L27/12 ; H01L21/77
摘要：
本发明的实施例提供一种基板及其制备方法、显示面板及其制备方法，涉及显示技术领域，可提高产品良率。该基板的制备方法包括在基片上形成透明无机绝缘层；在形成有所述透明无机绝缘层的所述基片上，形成TFT；采用干法刻蚀工艺对所述基片进行刻蚀，以使形成有所述TFT的透明无机绝缘层释放；采用键合方式，将所述透明无机绝缘层装配到玻璃基板上。用于具有TFT的装置。
公开/授权文献
- CN106057829A 一种基板及其制备方法、显示面板及其制备方法 公开/授权日：2016-10-26
IPC分类:
