一种控制GaSb单晶衬底表面颗粒度的方法
摘要:
本发明一种控制GaSb单晶衬底表面颗粒度的方法,包括:步骤1)GaSb单晶片进行抛光,抛光后将GaSb单晶片浸泡在无水乙醇中;步骤2)将GaSb单晶片依次在无水乙醇、石油醚、异丙醇有机溶剂中进行超声清洗,在每种试剂中清洗时间为10~15分钟,完毕后将GaSb单晶片浸泡在无水乙醇中;步骤3)将GaSb单晶片浸入盐酸和异丙醇按体积比1:4进行混合的溶液中,进行超声清洗5~10分钟,完毕后将GaSb单晶片浸泡在无水乙醇中;步骤4)将GaSb单晶片取出,在氮气或惰性气体的环境下吹干,并装盒密封。本发明通过改进工艺,通过在超净环境下对晶片进行加工,并采用化学清洗与氮气封装工艺可有效去除GaSb单晶表面残留杂质和颗粒,控制颗粒度在100/cm2以下,大大提高GaSb单晶衬底表面质量。
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