发明公开
- 专利标题: 一种控制GaSb单晶衬底表面颗粒度的方法
- 专利标题(英): Method for controlling surface granularity of GaSb monocrystal substrate
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申请号: CN201610488212.8申请日: 2016-06-29
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公开(公告)号: CN106119972A公开(公告)日: 2016-11-16
- 发明人: 刘京明 , 刘彤 , 董志远 , 赵有文
- 申请人: 北京华进创威电子有限公司
- 申请人地址: 北京市通州区经济技术开发区通惠干渠路17号院
- 专利权人: 北京华进创威电子有限公司
- 当前专利权人: 北京华进创威电子有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市通州区经济技术开发区通惠干渠路17号院
- 代理机构: 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
- 代理商 尹振启; 何戈涛
- 主分类号: C30B33/00
- IPC分类号: C30B33/00 ; C30B33/10
摘要:
本发明一种控制GaSb单晶衬底表面颗粒度的方法,包括:步骤1)GaSb单晶片进行抛光,抛光后将GaSb单晶片浸泡在无水乙醇中;步骤2)将GaSb单晶片依次在无水乙醇、石油醚、异丙醇有机溶剂中进行超声清洗,在每种试剂中清洗时间为10~15分钟,完毕后将GaSb单晶片浸泡在无水乙醇中;步骤3)将GaSb单晶片浸入盐酸和异丙醇按体积比1:4进行混合的溶液中,进行超声清洗5~10分钟,完毕后将GaSb单晶片浸泡在无水乙醇中;步骤4)将GaSb单晶片取出,在氮气或惰性气体的环境下吹干,并装盒密封。本发明通过改进工艺,通过在超净环境下对晶片进行加工,并采用化学清洗与氮气封装工艺可有效去除GaSb单晶表面残留杂质和颗粒,控制颗粒度在100/cm2以下,大大提高GaSb单晶衬底表面质量。