发明授权
- 专利标题: 电极型电场传感器封装元件及其用途
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申请号: CN201610409446.9申请日: 2016-06-12
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公开(公告)号: CN106124870B公开(公告)日: 2019-12-20
- 发明人: 闻小龙 , 夏善红
- 申请人: 中国科学院电子学研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: G01R29/12
- IPC分类号: G01R29/12
摘要:
一种电极型电场传感器封装元件,包括封装管壳;电场传感器芯片,固定于所述封装管壳内;封装盖,覆盖所述管壳开口,形成内腔以容纳所述电场传感器芯片;以及封装电极,位于封装盖背离内腔的一侧,根据与封装盖由近及远的关系封装电极分为首端、中段和尾端。以及一种该电极型电场传感器封装元件的应用。通过多种封装电极设计,提升了电场传感器的空间分辨率,提高了传感器的灵敏度,增强了传感器的环境适应性。
公开/授权文献
- CN106124870A 电极型电场传感器封装元件及其用途 公开/授权日:2016-11-16