电极型电场传感器封装元件及其用途
摘要:
一种电极型电场传感器封装元件,包括封装管壳;电场传感器芯片,固定于所述封装管壳内;封装盖,覆盖所述管壳开口,形成内腔以容纳所述电场传感器芯片;以及封装电极,位于封装盖背离内腔的一侧,根据与封装盖由近及远的关系封装电极分为首端、中段和尾端。以及一种该电极型电场传感器封装元件的应用。通过多种封装电极设计,提升了电场传感器的空间分辨率,提高了传感器的灵敏度,增强了传感器的环境适应性。
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