发明公开
CN106128925A X射线产生装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: X射线产生装置
- 专利标题(英): X-RAY GENERATING APPARATUS
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申请号: CN201610188205.6申请日: 2016-03-29
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公开(公告)号: CN106128925A公开(公告)日: 2016-11-16
- 发明人: 宫冈明宽
- 申请人: 株式会社岛津制作所
- 申请人地址: 日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
- 专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
- 代理机构: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
- 代理商 寿宁; 张华辉
- 优先权: 2015-095467 2015.05.08 JP
- 主分类号: H01J35/10
- IPC分类号: H01J35/10
摘要:
本发明是有关于一种X射线产生装置。经由真空波纹管(2)将保持积层了靶材(4)的X射线照射窗(5)的移动部(3)连结于真空容器的本体部(1),将限制移动部(3)的移动方向及倾斜的引导机构设置于真空容器外。所述引导机构包含:引导用平坦面(10a),在本体部(1)侧沿着与电子束(B)的中心轴正交的平面形成;被引导用平坦面(13a),在移动部(3)侧以与所述引导用平坦面(10a)相向的方式形成;以及在它们之间转动的多个转动体(12)。据此,引导机构中的摩擦力得以减轻。
公开/授权文献
- CN106128925B X射线产生装置 公开/授权日:2018-04-06