发明公开

X射线产生装置
摘要:
本发明是有关于一种X射线产生装置。经由真空波纹管(2)将保持积层了靶材(4)的X射线照射窗(5)的移动部(3)连结于真空容器的本体部(1),将限制移动部(3)的移动方向及倾斜的引导机构设置于真空容器外。所述引导机构包含:引导用平坦面(10a),在本体部(1)侧沿着与电子束(B)的中心轴正交的平面形成;被引导用平坦面(13a),在移动部(3)侧以与所述引导用平坦面(10a)相向的方式形成;以及在它们之间转动的多个转动体(12)。据此,引导机构中的摩擦力得以减轻。
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