发明授权
摘要：
本发明涉及海洋湍流探测，具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题，提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式，解决电绝缘、防腐蚀、耐高静水压、防碰撞、防泥沙堵塞等问题。本发明适用于MEMS湍流传感器的封装。
公开/授权文献
- CN106153243A MEMS湍流传感器的封装方法 公开/授权日：2016-11-23
