- 专利标题: 掩模框架组件、沉积装置及有机发光显示装置的制造方法
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申请号: CN201510194081.8申请日: 2015-04-22
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公开(公告)号: CN106158697B公开(公告)日: 2020-07-28
- 发明人: 郑茶姬
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 齐葵; 周艳玲
- 优先权: 10-2014-0184959 2014.12.19 KR
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L51/56
摘要:
本发明涉及掩模框架组件、沉积装置及有机发光显示装置的制造方法。本发明的一实施例的掩模框架组件包括:框架;和多个掩模,用框架支撑多个掩模的两端部,各掩模包括:主体部,用框架支撑主体部的外围区域;和图案部,沿各掩模的长度方向彼此相隔地配置且包括使沉积物质通过的多个图案孔和形成在各图案孔之间的肋,主体部包括阶梯部,该阶梯部沿图案部的两侧面中的至少一侧面延伸形成且彼此相隔地配置,并且凹陷形成于主体部的第一表面和第二表面中的至少一表面上,阶梯部通过以肋的重心为基准对主体部的第一表面和第二表面中的至少一表面进行蚀刻而形成,从重心至阶梯部的第三表面为止的厚度和从重心至阶梯部的第四表面为止的厚度基本上相等。
公开/授权文献
- CN106158697A 掩模框架组件、沉积装置及有机发光显示装置的制造方法 公开/授权日:2016-11-23
IPC分类: