发明授权
- 专利标题: 芯片及其制作方法
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申请号: CN201510174058.2申请日: 2015-04-13
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公开(公告)号: CN106158795B公开(公告)日: 2018-10-23
- 发明人: 方三军 , 陈思安 , 朱瑜杰 , 徐萍
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 赵囡囡; 吴贵明
- 主分类号: H01L23/48
- IPC分类号: H01L23/48 ; H01L21/768
摘要:
本发明公开了一种芯片及其制作方法。其中该芯片包括:衬底;中间功能区,设置在衬底上,其上设有中间穿透硅通孔,中间穿透硅通孔的内壁上形成有阻挡层,且中间穿透硅通孔中设置有导电层;边缘功能区,设置在衬底上,其上设有边缘穿透硅通孔,边缘穿透硅通孔的内壁上形成有阻挡层,其中,该芯片还包括设置于边缘穿透硅通孔内的介质层。该介质层能避免边缘穿透硅通孔的内壁直接裸露,从而避免缘穿透硅通孔内壁上的阻挡层因外部应力等发生开裂,甚至剥落,进而避免了由于阻挡层剥落造成的颗粒状缺陷以及芯片良率的降低,使得芯片的稳定性得到提高。
公开/授权文献
- CN106158795A 芯片及其制作方法 公开/授权日:2016-11-23
IPC分类: