芯片及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种芯片及其制作方法。其中该芯片包括:衬底;中间功能区,设置在衬底上,其上设有中间穿透硅通孔,中间穿透硅通孔的内壁上形成有阻挡层,且中间穿透硅通孔中设置有导电层;边缘功能区,设置在衬底上,其上设有边缘穿透硅通孔,边缘穿透硅通孔的内壁上形成有阻挡层,其中,该芯片还包括设置于边缘穿透硅通孔内的介质层。该介质层能避免边缘穿透硅通孔的内壁直接裸露,从而避免缘穿透硅通孔内壁上的阻挡层因外部应力等发生开裂,甚至剥落,进而避免了由于阻挡层剥落造成的颗粒状缺陷以及芯片良率的降低,使得芯片的稳定性得到提高。
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