发明公开
- 专利标题: 半导体器件结构和方法
- 专利标题(英): Semiconductor device structure and method
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申请号: CN201610209790.3申请日: 2016-04-06
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公开(公告)号: CN106158858A公开(公告)日: 2016-11-23
- 发明人: 梁启德 , 洪铭辉 , 刘泛鸿
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司 , 梁启德
- 申请人地址: 中国台湾,新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司,梁启德
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司,梁启德
- 当前专利权人地址: 中国台湾,新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 优先权: 14/713,978 2015.05.15 US
- 主分类号: H01L27/088
- IPC分类号: H01L27/088 ; H01L21/782
摘要:
提供了多层半导体器件结构和制造方法。在一个实施例中,第一半导体层、第一绝缘体层、第二半导体层、第二绝缘体层和第三半导体层形成在衬底上方。第一晶体管包括第一半导体层、第一绝缘体层和第二半导体层,以及第二晶体管包括第二半导体层、第二绝缘体层和第三半导体层。
公开/授权文献
- CN106158858B 半导体器件结构和方法 公开/授权日:2019-04-23
IPC分类: