半导体器件结构和方法
摘要:
提供了多层半导体器件结构和制造方法。在一个实施例中,第一半导体层、第一绝缘体层、第二半导体层、第二绝缘体层和第三半导体层形成在衬底上方。第一晶体管包括第一半导体层、第一绝缘体层和第二半导体层,以及第二晶体管包括第二半导体层、第二绝缘体层和第三半导体层。
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