被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法
摘要:
本发明公开了一种被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法。通过合理的结构设计,使得在热沉温度升高时,固定在热沉上的悬臂梁结构能够产生远离热沉的偏转运动,并且偏转的角度随着热沉温度的升高而升高。当悬臂梁结构的偏转角增大时,其长度方向与来流速度方向的夹角也相应增大,这使得悬臂梁振动部分的振动更加剧烈,从而对悬臂梁附近的流场产生更大的扰动,破坏了热边界层的形成,最终实现传热的强化。这种强化传热装置不需要人工控制,也不需要外界输入能量,能够自动根据热沉温度调节散热强度,这为解决现代电子器件的高热流密度问题提供了新的途径。
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