发明公开
CN106222746A 单晶炉熔料时间缩短装置及方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 单晶炉熔料时间缩短装置及方法
- 专利标题(英): Single-crystal furnace material melting time shortening device and method
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申请号: CN201610905601.6申请日: 2016-10-17
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公开(公告)号: CN106222746A公开(公告)日: 2016-12-14
- 发明人: 潘永娥
- 申请人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
- 申请人地址: 宁夏回族自治区中卫市中卫工业园
- 专利权人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
- 当前专利权人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 宁夏回族自治区中卫市中卫工业园
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 唐清凯
- 主分类号: C30B29/06
- IPC分类号: C30B29/06 ; C30B15/14
摘要:
本发明涉及单晶炉熔料时间缩短装置及方法,单晶炉熔料时间缩短装置包括石墨坩埚,所述石墨坩埚的外表面上绕有感应线圈,所述感应线圈具有电路接线端。单晶炉熔料时间缩短方法,包括单晶炉、装有硅料的石英坩埚、加热装置、单晶炉熔料时间缩短装置,在熔料开始时,打开加热装置,并且接通感应线圈,待硅料融化后,关闭感应线圈。通过在石墨坩埚的外表面上绕感应线圈,可以在开始熔化硅料的时候,将感应线圈通电,与现有的单晶炉内的加热装置一起对硅料进行加热,提高加热效率,缩短硅料融化时间,提高单晶棒的生产效率。
IPC分类: