单晶炉熔料时间缩短装置及方法
摘要:
本发明涉及单晶炉熔料时间缩短装置及方法,单晶炉熔料时间缩短装置包括石墨坩埚,所述石墨坩埚的外表面上绕有感应线圈,所述感应线圈具有电路接线端。单晶炉熔料时间缩短方法,包括单晶炉、装有硅料的石英坩埚、加热装置、单晶炉熔料时间缩短装置,在熔料开始时,打开加热装置,并且接通感应线圈,待硅料融化后,关闭感应线圈。通过在石墨坩埚的外表面上绕感应线圈,可以在开始熔化硅料的时候,将感应线圈通电,与现有的单晶炉内的加热装置一起对硅料进行加热,提高加热效率,缩短硅料融化时间,提高单晶棒的生产效率。
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