发明公开
- 专利标题: 一种真空密封性能测量装置及方法
- 专利标题(英): Measuring device and method for vacuum sealing performance
-
申请号: CN201610532002.4申请日: 2016-07-07
-
公开(公告)号: CN106226000A公开(公告)日: 2016-12-14
- 发明人: 吴晓斌 , 张罗莎 , 王魁波 , 陈进新 , 罗艳 , 谢婉露 , 周翊 , 王宇 , 崔惠绒
- 申请人: 中国科学院光电研究院
- 申请人地址: 北京市海淀区邓庄南路9号
- 专利权人: 中国科学院光电研究院
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区邓庄南路9号
- 代理机构: 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司
- 代理商 付晓青; 杨玉荣
- 主分类号: G01M3/20
- IPC分类号: G01M3/20
摘要:
本发明公开了一种真空密封性能测量装置及方法,该装置包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(10)、真空规(11)、四极质谱计(12)、测量室(13)。该方法采用动态法测量或者静态累积法测量密封容器(5)的整体漏率,表征密封容器的密封性能,其中动态法适用于相对较大的漏率测量,其测量范围与四极质谱计(12)的最小可检信号、小孔流导相关,静态累积法适用于相对较小的氦气漏率测量,利用四极质谱计对测量室内累积的氦分压的测量进一步计算出密封容器(5)的氦漏率。
公开/授权文献
- CN106226000B 一种真空密封性能测量装置和方法 公开/授权日:2019-01-01