一种吸波多层薄膜及其制备方法
摘要:
本发明涉及磁性材料制备领域,特别涉及一种吸波多层薄膜及其制备方法。该吸波多层薄膜为制备于衬底上的多层薄膜,从下至上分为三个部分,依次为衬底、中间层和顶层。中间层是由n个单元从下至上依次依次堆叠而成,n≥1,单元是下层共振吸收频率为f1的磁性层和上层是隔离层的双层单元结构,最终依次堆叠为f1‑fn共计2n层的中间层。顶层是由均匀排布的相同条形FeCo基合金磁性薄膜组合而成,条形薄膜的数量≥2。f1‑fn的磁性层的共振吸收频率相同和/或不同。本发明将吸波多层薄膜的吸收频带有效拓宽,并且不局限于材料本身的吸收频率,且有效的将材料的吸收频带拓宽至高频,可用于噪声抑制器,传输线等器件中。
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