发明授权
- 专利标题: 一种凸非球面镜面形检测系统及检测方法
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申请号: CN201511017672.4申请日: 2015-12-29
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公开(公告)号: CN106247973B公开(公告)日: 2019-01-15
- 发明人: 马冬梅 , 张海涛 , 于杰
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 长光集智光学科技有限公司
- 当前专利权人地址: 130012 吉林省长春市经济技术开发区浦东路3033号1号房屋
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 郝明琴
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24
摘要:
本发明涉及光学检测技术领域,特别涉及凸非球面镜面形检测系统,点衍射干涉装置产生衍射光,并与被测凸非球面镜的反射光进行干涉;基准凹球面镜将衍射光反射至被测凸非球面镜,并将被测凸非球面镜的反射光反射至点衍射干涉装置;基准凹球面镜调整机构调整基准凹球面镜的位置;被测凸非球面镜调整机构调整被测凸非球面镜沿光轴方向移动;图像处理装置根据干涉图像及基准凹面镜的面形误差进行计算,获取被测凸非球面镜的面形信息;控制装置控制基准凹球面镜调整机构调整基准凹球面镜位置及被测凸非球面镜调整机构调整被测凸非球面镜位置。本发明还包括凸非球面镜面形检测方法.本发明设置点衍射干涉仪、基准凹面镜及调整机构,达到了准确测试凸非球面镜面形的有益效果。
公开/授权文献
- CN106247973A 一种凸非球面镜面形检测系统及检测方法 公开/授权日:2016-12-21