-
公开(公告)号：CN115638740A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202110814174.1
申请日：2021-07-19
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 一种多角度快速调节光学元件的装置，该装置包括激光干涉仪、干涉仪标准镜头、零位补偿镜和第一调整机构；第一调整机构上安装有旋转转台，旋转转台安装有第二调整机构，第二调整机构上还安装有第三调整及检测支撑平台，被检光学元件置于第三调整及检测支撑平台上，本发明是通过灵敏度矩阵可以快速计算各调整机构的调整量，从而快速地调整各调整机构以及被检光学的空间位置，大大节省了调整时间，也降低调整难度，通过泽尼克第二、三、七、八项的系数会使得调整的精度更高。
-
公开(公告)号：CN110823088B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201911120214.1
申请日：2019-11-15
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明属于激光干涉仪技术领域，提供了一种激光动态干涉仪，包括：激光器、用于将所述激光器发射的激光光束进行准直的准直结构、平面反射镜和平面反射镜、1/4波片和1/4波片、偏振分束镜等结构。其采用交叉可自由变向微偏振器阵列，用于产生同一时间的相移，并且采用了液晶相位延时器与传统干涉仪相组合的形式，配合不同的偏振器阵列可以得到不同的干涉相，从而在原有的激光干涉仪测量基础上实现切换测量。同时本发明采用偏振光干涉原理，将传统相移干涉仪的时间域相移转换为空间域相移，使得一个CCD帧频内就可实现全分辨的测量。本发明实现了传统干涉仪所不具有的快速测量，对震动不敏感，减少气流的影响等优点。
-
公开(公告)号：CN110487211B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201910931375.2
申请日：2019-09-29
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明实施例公开了一种非球面元件面形检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其中，方法包括将待测非球面元件的子孔径检测数据输入至预先利用样本数据集训练深度学习网络模型得到的面形分布计算模型中，得到各子孔径的相对位置和重叠区域，然后利用子孔径拼接算法进行子孔径拼接，以实现对非球面元件的面形检测；深度学习网络模型包括级联深度网络框架和位置计算层；级联深度网络框架逐层估计环形子孔径的初始位置和位置偏差值，位置计算层基于环形子孔径的初始位置和位置偏差值，利用多层次回归算法微调各环形子孔径的环带位置。本申请实现了自动、快速、精密地确定各子孔径的面形分布信息，有效地降低了非球面元件的面形检测成本。
-
公开(公告)号：CN108195309A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711461392.1
申请日：2017-12-28
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明实施例公开了一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法，该方法先利用测量系统，在N个等分角度下测量所述离轴非球面元件和测量系统组成的整体的面形误差，得到N个第一测量结果；再将所述N个第一测量结果分别逆时针旋转该第一测量结果对应的角度，得到N个第二测量结果；然后利用预设等分角度下的所述第一测量结果减去所述N个第二测量结果的平均值，得到第三测量结果；最后测量所述测量系统的误差的旋转对称项，记为第四测量结果，利用所述第一检测结果减去所述第三测量结果以及所述第四测量结果，得到所述离轴非球面元件的面形误差，以实现所述离轴非球面元件的面形误差的测量。
-
公开(公告)号：CN106338258A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201510962486.1
申请日：2015-12-21
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02015
摘要： 本发明提供一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置，包括第一激光器、激光扩束镜、第一分光棱镜、二分之一波片、第二分光棱镜、四分之一波片、聚焦镜、针孔板、三维调整机构、第二激光器、第二激光功率计、第一激光功率计、成像用后组镜头、CMOS相机以及计算机。本发明还提供一种用于点衍射干涉仪针孔对准的方法，包括快速粗对准和精密对准，粗对准过程直观便捷快速，精密对准过程只需两轮扫描就能实现0.1μm的精密对准，耗时短精度高。
-
公开(公告)号：CN105563270A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510962237.2
申请日：2015-12-21
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/00 , B24B13/005
CPC分类号： B24B13/00 , B24B13/005
摘要： 一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置属于离子束加工领域，目的在于解决现有技术存在结构复杂且不能定方位角的问题。本发明的定心旋转底座上端面圆周均布六个键槽A；设置在空心旋转底座上的工件夹持底座，工件夹持底座设置有中心圆孔，上端面圆周均布三个T形槽，圆周均布六个键槽B；设置在工件夹持底座上端面的定方位导杆；与工件夹持底座上的T形槽滑动配合的工件夹持柄，三个工件夹持柄支撑夹持工件；套装在定方位导杆的方形长杆上的定方位指示针；和固定在定心旋转底座的凸沿上的百分表，百分表测针和对应的工件夹持柄表面接触。实现离子束面形精修过程中待加工工件表面坐标系、面形检测系统坐标系和离子束面形精修系统坐标系的统一。
-
公开(公告)号：CN103969034B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410182055.9
申请日：2014-04-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01M11/08
CPC分类号： G01M11/08
摘要： 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法属于光学系统集成领域，该方法是根据初始时刻和待评估时刻光学系统的波面偏差解算系统失调量，根据系统失调量调整相应补偿器，将调整后系统与初始时刻的系统波面偏差作为是否完成稳定性评估的判据，解算的失调量即为对应光机结构在该时间段内的长期不稳定性。本发明的方法适用于光机结构复杂的光学系统长期稳定性的实时评估，克服了传统稳定性评估方法受限于空间位置的问题。
-
公开(公告)号：CN103984808A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410182074.1
申请日：2014-04-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种基于光学元件面形的计算机辅助装调模型的建立方法属于光学系统集成领域，该方法是：(1)在光学软件设计的理想光学系统中载入相应的光学元件面形，建立修正的光学系统；(2)建立修正光学系统的敏感度矩阵，对敏感度矩阵进行奇异值分解，通过对结果的分析选择合理的补偿器作为变量对光学系统进行优化；(3)根据优化后的系统结构参数完成光学系统装配，通过系统检测获得出瞳面波像差，结合系统敏感度矩阵的奇异值分解解算系统的失调量，并完成系统的装调。本发明解决了光学系统在计算机辅助装调过程中补偿器的耦合问题，加快了系统装调的迭代收敛速度。
-
公开(公告)号：CN113204113B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202110554865.2
申请日：2021-05-20
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 本发明公开了一种光学系统的自由曲面优化方法，包括：以光学系统结构为基础，建立同一自由曲面表达式在不同元件上的第一灵敏度矩阵，以得到灵敏度最高的元件作为自由曲面附加元件；基于光学系统中的不同自由曲面，建立不同自由曲面在自由曲面附加元件上的第二灵敏度矩阵，并确定可在后续优化中使用的优化自由曲面；根据优化自由曲面对应的第二灵敏度矩阵、光学系统的当前像质与预设目标像质的差，求解出优化自由曲面的初始系数，以对光学系统的自由曲面进行优化处理。本发明还公开了一种光学系统的自由曲面优化装置和可读存储介质。本发明实现了自由曲面位置、面型的选取及优化初始值的设置，降低优化难度，提高优化效率和像质的有益效果。
-
公开(公告)号：CN108195309B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201711461392.1
申请日：2017-12-28
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明实施例公开了一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法，该方法先利用测量系统，在N个等分角度下测量所述离轴非球面元件和测量系统组成的整体的面形误差，得到N个第一测量结果；再将所述N个第一测量结果分别逆时针旋转该第一测量结果对应的角度，得到N个第二测量结果；然后利用预设等分角度下的所述第一测量结果减去所述N个第二测量结果的平均值，得到第三测量结果；最后测量所述测量系统的误差的旋转对称项，记为第四测量结果，利用所述第一检测结果减去所述第三测量结果以及所述第四测量结果，得到所述离轴非球面元件的面形误差，以实现所述离轴非球面元件的面形误差的测量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
49 条记录 (耗时 0.165 秒)