发明公开
CN106249539A 图案处理方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 图案处理方法
- 专利标题(英): PATTERN TREATMENT METHODS
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申请号: CN201610380663.X申请日: 2016-06-01
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公开(公告)号: CN106249539A公开(公告)日: 2016-12-21
- 发明人: V·吉安 , M·李 , H·周 , J·K·朴 , P·D·休斯塔德 , J·W·成
- 申请人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司,陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司,陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 胡嘉倩; 陈哲锋
- 优先权: 62/170516 2015.06.03 US
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00 ; G03F7/09 ; G03F7/004
摘要:
本发明涉及图案处理方法,其包含:(a)提供半导体衬底,其在其表面上包含图案化特征;(b)向图案化特征施用图案处理组合物,其中所述图案处理组合物包含嵌段共聚物和溶剂,其中所述嵌段共聚物包含第一嵌段和第二嵌段,其中所述第一嵌段包含由第一单体形成的单元,所述第一单体包含烯系不饱和可聚合基团和氢受体基团,其中氢受体基团是含氮基团,并且第二嵌段包含由第二单体形成的单元,所述第二单体包含烯系不饱和可聚合基团和芳族基,其限制条件是第二单体不是苯乙烯;以及(c)将残余图案处理组合物从衬底洗去,留下结合到图案化特征的嵌段共聚物部分。所述方法尤其适用于制造提供高分辨率图案的半导体装置。