发明公开

图案处理方法
摘要:
本发明涉及图案处理方法,其包含:(a)提供半导体衬底,其在其表面上包含图案化特征;(b)向图案化特征施用图案处理组合物,其中所述图案处理组合物包含嵌段共聚物和溶剂,其中所述嵌段共聚物包含第一嵌段和第二嵌段,其中所述第一嵌段包含由第一单体形成的单元,所述第一单体包含烯系不饱和可聚合基团和氢受体基团,其中氢受体基团是含氮基团,并且第二嵌段包含由第二单体形成的单元,所述第二单体包含烯系不饱和可聚合基团和芳族基,其限制条件是第二单体不是苯乙烯;以及(c)将残余图案处理组合物从衬底洗去,留下结合到图案化特征的嵌段共聚物部分。所述方法尤其适用于制造提供高分辨率图案的半导体装置。
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