一种高沉积速率PCVD工艺制作单模光纤芯棒的方法
摘要:
本发明涉及一种高沉积速率PCVD工艺制造单模光纤芯棒的方法,其特征在于将纯石英衬管置于微波谐振腔保温炉内,纯石英衬管穿过筒形微波谐振腔周期性的旋转,同时微波谐振腔相对纯石英衬管作轴向往复移动;混合气体从衬管的一端进入管内,混合气体的种类和流量为:纯四氯化硅蒸气500~3000sccm,纯氧气2000 sccm~8000sccm,四氯化锗蒸气10~200sccm,氟利昂0~50sccm;衬管的另一端是气体排出端,气体排出端连接真空泵,控制衬管内压力在10~30mBar;衬管内的沉积速率以纯硅计为2.0~5.5g/min,沉积完成后,在电热熔缩床上将沉积管熔缩成实心芯棒。本发明有效提高PCVD工艺沉积速率和生产效率,使沉积速率和加工质量得到更好的均衡,芯层加工质量和精度的进一步提高。
0/0