发明公开
- 专利标题: 一种高沉积速率PCVD工艺制作单模光纤芯棒的方法
- 专利标题(英): Method for preparing single mode fiber core rod with PCVD (plasma chemistry vapor deposition) process at high deposition rate
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申请号: CN201610680316.9申请日: 2016-08-17
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公开(公告)号: CN106277744A公开(公告)日: 2017-01-04
- 发明人: 吴建鹏 , 夏先辉 , 吴伟
- 申请人: 长飞光纤光缆股份有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号
- 专利权人: 长飞光纤光缆股份有限公司
- 当前专利权人: 长飞光纤光缆股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号
- 代理机构: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司
- 代理商 胡建平
- 主分类号: C03B37/018
- IPC分类号: C03B37/018
摘要:
本发明涉及一种高沉积速率PCVD工艺制造单模光纤芯棒的方法,其特征在于将纯石英衬管置于微波谐振腔保温炉内,纯石英衬管穿过筒形微波谐振腔周期性的旋转,同时微波谐振腔相对纯石英衬管作轴向往复移动;混合气体从衬管的一端进入管内,混合气体的种类和流量为:纯四氯化硅蒸气500~3000sccm,纯氧气2000 sccm~8000sccm,四氯化锗蒸气10~200sccm,氟利昂0~50sccm;衬管的另一端是气体排出端,气体排出端连接真空泵,控制衬管内压力在10~30mBar;衬管内的沉积速率以纯硅计为2.0~5.5g/min,沉积完成后,在电热熔缩床上将沉积管熔缩成实心芯棒。本发明有效提高PCVD工艺沉积速率和生产效率,使沉积速率和加工质量得到更好的均衡,芯层加工质量和精度的进一步提高。