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CN106289058B 一种光栅尺定位分配精度补偿的方法
失效 - 权利终止
摘要：
本发明公开了一种光栅尺定位分配精度补偿的方法，通过在直线电机的行程内设置多个预置点，并同时对比激光干涉仪测量值和光栅尺测量值，以激光干涉仪测量值为准对比出光栅尺测量值的线性误差和局部误差，通过补偿原始光栅尺测量值的线性误差和局部误差，获得更准确的光栅尺测量值，提高测量精度。
公开/授权文献
- CN106289058A 一种光栅尺定位分配精度补偿的方法 公开/授权日：2017-01-04
