• 专利标题: 一种高机械品质因子的薄膜谐振子实现装置
  • 专利标题(英): Film harmonic oscillator realization device of high-mechanical-quality factor
  • 申请号: CN201610741294.2
    申请日: 2016-08-26
  • 公开(公告)号: CN106301281A
    公开(公告)日: 2017-01-04
  • 发明人: 李永民李宗阳张强彭堃墀
  • 申请人: 山西大学
  • 申请人地址: 山西省太原市小店区坞城路92号
  • 专利权人: 山西大学
  • 当前专利权人: 山西大学
  • 当前专利权人地址: 山西省太原市小店区坞城路92号
  • 代理机构: 山西五维专利事务所
  • 代理商 张福增
  • 主分类号: H03H9/25
  • IPC分类号: H03H9/25 H03H9/02
一种高机械品质因子的薄膜谐振子实现装置
摘要:
本发明提供了一种高机械品质因子薄膜谐振子的实现装置,包括金属固定框架(1)、光纤微梁(2)和薄膜芯片(3),所述的金属固定框架(1)为方形板状中空结构,其上下边框的前表面刻有两条垂直于边框的平行窄槽(6),用于固定光纤微梁(2);所述的光纤微梁(2)是两根被施加张力后固定在金属固定框架(1)的微光纤,并被薄膜芯片(3)分隔形成的四个等长的光纤微梁。本发明基于远离谐振频率的光纤微梁(2)谐振子可以用作声波滤波器的原理,有效抑制了薄膜芯片品质因子,结构简单,成本低,在室温真空以及低温真空环境中均可以保持良好的机械性能,可以应用于量子光力学等领域。(3)的声子隧穿损耗,提高了薄膜谐振子的机械
公开/授权文献
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