公开(公告)号：CN106301281A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610741294.2

申请日：2016-08-26

申请人： 山西大学

发明人： 李永民 ,  李宗阳 ,  张强 ,  彭堃墀

IPC分类号： H03H9/25 ,  H03H9/02

摘要： 本发明提供了一种高机械品质因子薄膜谐振子的实现装置，包括金属固定框架(1)、光纤微梁(2)和薄膜芯片(3)，所述的金属固定框架(1)为方形板状中空结构，其上下边框的前表面刻有两条垂直于边框的平行窄槽(6)，用于固定光纤微梁(2)；所述的光纤微梁(2)是两根被施加张力后固定在金属固定框架(1)的微光纤，并被薄膜芯片(3)分隔形成的四个等长的光纤微梁。本发明基于远离谐振频率的光纤微梁(2)谐振子可以用作声波滤波器的原理，有效抑制了薄膜芯片品质因子，结构简单，成本低，在室温真空以及低温真空环境中均可以保持良好的机械性能，可以应用于量子光力学等领域。(3)的声子隧穿损耗，提高了薄膜谐振子的机械

公开(公告)号：CN106301281B

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201610741294.2

申请日：2016-08-26

申请人： 山西大学

发明人： 李永民 ,  李宗阳 ,  张强 ,  彭堃墀

IPC分类号： H03H9/25 ,  H03H9/02

摘要： 本发明提供了一种高机械品质因子薄膜谐振子的实现装置，包括金属固定框架(1)、光纤微梁(2)和薄膜芯片(3)，所述的金属固定框架(1)为方形板状中空结构，其上下边框的前表面刻有两条垂直于边框的平行窄槽(6)，用于固定光纤微梁(2)；所述的光纤微梁(2)是两根被施加张力后固定在金属固定框架(1)的微光纤，并被薄膜芯片(3)分隔形成的四个等长的光纤微梁。本发明基于远离谐振频率的光纤微梁(2)谐振子可以用作声波滤波器的原理，有效抑制了薄膜芯片(3)的声子隧穿损耗，提高了薄膜谐振子的机械品质因子，结构简单，成本低，在室温真空以及低温真空环境中均可以保持良好的机械性能，可以应用于量子光力学等领域。