发明公开
- 专利标题: 调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件
- 专利标题(英): Polishing assembly for adjusting pressure intensity distribution in edge area of optical element
-
申请号: CN201610836440.X申请日: 2016-09-21
-
公开(公告)号: CN106312797A公开(公告)日: 2017-01-11
- 发明人: 吴丽翔 , 魏朝阳 , 邵建达 , 刘振通
- 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址: 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 代理机构: 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯; 张宁展
- 主分类号: B24B39/00
- IPC分类号: B24B39/00 ; B24B13/00 ; B24B55/00
摘要:
一种调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件,包括:行星双转子气压传动装置、关节式辅助施压机构和抛光盘,其特点在于所述的抛光盘的背面刻有同心圆沟槽,所述的关节式辅助施压机构由固定基座、活动关节和测力计组成。在光学元件边缘区域抛光过程中,通过该抛光组件对光学元件边缘区域压强分布进行调节,从而改变边缘区域材料去除量分布、达到抑制边缘效应的效果;另外,借助关节式辅助施压机构可有效减小振动幅度,从而提高抛光过程的可确定性。
公开/授权文献
- CN106312797B 调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件 公开/授权日:2019-05-17