调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件
摘要:
一种调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件,包括:行星双转子气压传动装置、关节式辅助施压机构和抛光盘,其特点在于所述的抛光盘的背面刻有同心圆沟槽,所述的关节式辅助施压机构由固定基座、活动关节和测力计组成。在光学元件边缘区域抛光过程中,通过该抛光组件对光学元件边缘区域压强分布进行调节,从而改变边缘区域材料去除量分布、达到抑制边缘效应的效果;另外,借助关节式辅助施压机构可有效减小振动幅度,从而提高抛光过程的可确定性。
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