发明授权
- 专利标题: 机械抛光过程的建模仿真方法及装置
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申请号: CN201611093954.7申请日: 2016-12-02
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公开(公告)号: CN106363468B公开(公告)日: 2018-06-08
- 发明人: 占俊峰
- 申请人: 苏州辛德斯机器人系统工程有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区迎春南路112号1幢101室
- 专利权人: 苏州辛德斯机器人系统工程有限公司
- 当前专利权人: 苏州托玛斯机器人集团有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区迎春南路112号1幢101室
- 代理机构: 北京超凡志成知识产权代理事务所
- 代理商 张海洋
- 主分类号: B24B1/04
- IPC分类号: B24B1/04 ; B24B41/00 ; G06F17/50
摘要:
本发明实施例提供的一种机械抛光过程的建模仿真方法及装置,涉及超精密制造领域,所述方法包括获取表征抛光工具的第一操作对象、表征工件的第二操作对象、表征抛光液的第三操作对象以及表征所述抛光液中磨粒的第四操作对象;分别获取第一、二、三及四操作对象的物理特性数据;建立表征机械抛光过程的固液耦合模型;基于所述固液耦合模型、第一操作对象的第一运动参数、第二操作对象的第二运动参数以及预设的仿真时间段,进行仿真,并获取所述第二操作对象的受力数据以及所述第四操作对象的速度数据;然后获得第一数据以及第二数据;分析且对比第一数据,获得第一运动参数以及第二运动参数,以便在实际机械抛光过程中提高抛光效率。
公开/授权文献
- CN106363468A 机械抛光处理方法及装置 公开/授权日:2017-02-01