- 专利标题: 基于Li3PO4-Li4SiO4混合固体电解质的电势型气体传感器及其制备方法
- 专利标题(英): Potential type gas sensor based on Li3PO4-Li4SiO4 mixed solid electrolyte and preparation method thereof
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申请号: CN201610813996.7申请日: 2016-09-09
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公开(公告)号: CN106383161A公开(公告)日: 2017-02-08
- 发明人: 王海容 , 张咪 , 陈迪
- 申请人: 西安交通大学 , 浙江西安交通大学研究院
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学,浙江西安交通大学研究院
- 当前专利权人: 西安交通大学,浙江西安交通大学研究院
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 陆万寿
- 主分类号: G01N27/407
- IPC分类号: G01N27/407
摘要:
本发明公开了一种基于Li3PO4-Li4SiO4混合固体电解质的电势型气体传感器及其制备方法,在Al2O3陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作膜式Pt电阻测温电极和Pt加热电极,在Al2O3陶瓷基底的抛光面通过电子束蒸发镀膜工艺沉积Li3PO4-Li4SiO4混合固体电解质薄膜,采用磁控溅射方法沉积电极Au薄膜,并在一个电极Au薄膜表面印刷化学材料,最终形成固体电解质的电势型气体传感器。所述传感器使用一种Li3PO4-Li4SiO4混合固体电解质层,其离子导电性在较低温度下就能达到Li3PO4固体电解质在较高温度时的水平;并设计了闭环温控系统,实现了降低传感器工作温度、降低功耗、加快响应速率、加强输出稳定性、时控制并输出等多方面功能的改善。
公开/授权文献
- CN106383161B 基于Li3PO4-Li4SiO4混合固体电解质的电势型气体传感器及其制备方法 公开/授权日:2019-02-05