发明公开
- 专利标题: 基于PVDF的微针型压电微力传感器及其制备方法
- 专利标题(英): PVDF-based microneedle-type piezoelectric micro-force sensor and preparation method thereof
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申请号: CN201610712097.8申请日: 2016-08-23
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公开(公告)号: CN106404236A公开(公告)日: 2017-02-15
- 发明人: 杨斌 , 刘洁 , 刘景全 , 杨春生
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 徐红银; 郭国中
- 主分类号: G01L1/16
- IPC分类号: G01L1/16
摘要:
本发明公开了一种基于PVDF的微针型压电微力传感器及其制备方法,包括上电极层、下电极层、玻璃微针尖端、压电层;所述上、下电极层为导电层;所述压电层为聚偏氟乙烯PVDF及其二元、多元聚合物材料;所述玻璃微针尖端为微力传感器的基底;制备时,通过激光加热玻璃毛细管拉制形成玻璃微针尖端,通过溅射、旋涂或蒸发工艺在玻璃微针尖端上制作下电极层,采用刮涂、旋涂或静电纺丝工艺制备PVDF及其二元、多元聚合物材料薄膜层,再通过溅射、旋涂或蒸发工艺在覆有PVDF压电层的玻璃微针尖端上制作上电极层。本发明具有结构简单、加工工艺实现容易、体积小、灵敏度高等优点,特别适用于微气流以及微流体所引起的微力的检测。