本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板、其制作方法及显示面板，在薄膜晶体管中设置由碳纳米管半导体层和非掺杂非晶硅层组成的有源层，并且将非掺杂非晶硅层设置于碳纳米管半导体层与源极和漏极之间。这样，在薄膜晶体管打开时，主要通过有源层中的碳纳米管半导体层导电，碳纳米管半导体层具有较高的电子迁移率，并形成较大的开态电流，在薄膜晶体管关闭时，漏电流主要通过有源层中的非掺杂非晶硅层进行释放，具有较小的漏电流，从而使薄膜晶体管具有较高的开关电流比。