发明公开
- 专利标题: 一种金三角纳米颗粒阵列与二氧化钒薄膜复合嵌套结构的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of gold triangular nanoparticle array and vanadium dioxide film composite embedded structure
-
申请号: CN201610910921.0申请日: 2016-10-18
-
公开(公告)号: CN106435472A公开(公告)日: 2017-02-22
- 发明人: 梁继然 , 宋晓龙 , 周立伟 , 李景朋
- 申请人: 天津大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路92号
- 专利权人: 天津大学
- 当前专利权人: 天津大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路92号
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 宋洁瑾
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C14/08 ; C23C14/18 ; C23C14/24 ; C23C14/35 ; C23C14/58 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开了一种金三角纳米颗粒阵列与二氧化钒薄膜复合嵌套结构的制备方法,包括蓝宝石基底的清洗、制备单分散SiO2掩膜层、制备金三角纳米颗粒阵列结构、制备钒薄膜、二氧化钒薄膜的制备、金反射层的制备六个步骤,本发明制备的薄膜是由金三角纳米颗粒阵列、二氧化钒薄膜以及金反射层组成,通过调整制备顺序,使金三角纳米颗粒阵列能够嵌套至二氧化钒薄膜中,实现共振波长的可调性。应用本发明的薄膜制备的吸收器具有在可见光—近红外波段共振波长的较宽可调,吸收效率高、结构简单、体积小等优点,可应用于光探测、电磁开关以及传感器等方面。
公开/授权文献
- CN106435472B 一种金三角纳米颗粒阵列与二氧化钒薄膜复合嵌套结构的制备方法 公开/授权日:2018-09-25
IPC分类: