等离子体清洗方法、封装方法、功率模块和空调器
摘要:
本发明提供了一种等离子体清洗方法、封装方法、功率模块和空调器,其中,等离子体清洗方法包括:采用包括氧气和氩气的混合气体对基板和/或功率模块进行等离子体清洗,其中,氧气的流量范围为0~500sccm,氩气的流量范围为0~200sccm,等离子体清洗过程的射频功率范围为0~1000W,其中,基板和/或功率器件靠近设置于等离子体清洗的腔室内的激励端或地端。通过本发明技术方案,有效地去除了基板上的助焊剂和黏胶等有机物,以及粉尘,使得基线与封装材料之间的结合力提高,降低了基板与封装外壳的接触面的表面应力,因此使得上述功率模块结构稳定,进一步地提高了功率模块的散热性能耐湿热性能和可靠性。
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