• 专利标题: 一种GaN基LED与TFT异质单片集成的LED微显示像素单元结构
  • 专利标题(英): LED microdisplay pixel unit structure with heterogeneous monolithic integration of GaN-based LED and TFT
  • 申请号: CN201611012732.8
    申请日: 2016-11-17
  • 公开(公告)号: CN106449661A
    公开(公告)日: 2017-02-22
  • 发明人: 刘立林张向英
  • 申请人: 中山大学
  • 申请人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号
  • 专利权人: 中山大学
  • 当前专利权人: 中山大学
  • 当前专利权人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号
  • 代理机构: 广州粤高专利商标代理有限公司
  • 代理商 林丽明
  • 主分类号: H01L27/12
  • IPC分类号: H01L27/12
一种GaN基LED与TFT异质单片集成的LED微显示像素单元结构
摘要:
本发明提供一种TFT与GaN基LED异质单片集成的LED微显示像素单元结构,该结构由GaN基LED结构与TFT结构两部分组成:GaN基LED在蓝宝石衬底依次外延生长u-GaN缓冲层、n-GaN层、InGaN/GaN量子阱有源层、p-GaN层、InGaN基接触层;TFT结构是在已经制作成LED芯片单元结构上面进行生长,依次生长绝缘层、TFT源极(也是LED的P电极)、TFT漏极、半导体层作为TFT有源层、栅极绝缘层、栅极。本发明实现了LED与TFT集成到同一衬底上,实现异质单片集成TFT直接调制LED灰度,提升LED微显示的电学稳定性和集成度。
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