- 专利标题: 基于激光直写工艺的量子结构的定位生长方法
- 专利标题(英): Oriented-growing method of quantum structure based on laser direct-writing process
-
申请号: CN201510486343.8申请日: 2015-08-10
-
公开(公告)号: CN106449897A公开(公告)日: 2017-02-22
- 发明人: 黄荣 , 张子旸 , 李智 , 黄源清 , 张宝顺
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 黄进
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种基于激光直写工艺的量子结构的定位生长方法,包括应用激光直写工艺刻写刻蚀结构图形步骤:首先控制激光直写的曝光光斑沿光刻胶层的第一方向刻写,形成一行的曝光光斑,然后再逐行刻写,最终在光刻胶层上形成M行×N列的曝光光斑,其中,曝光光斑的直径为D,曝光光斑的步进均为d,并且 ;其中,在进行第i行至第i+m-1行的第j列至第j+n-1列的刻写时,关闭曝光光斑的功率形成未曝光区域,未曝光区域形成刻蚀结构图形,刻蚀结构图形沿行方向上的长度为L1,沿列方向上的长度为L2,并且,L1=(m+1)×d-D,L2=(n+1)×d-D,m和n的取值至少使得L1或L2的值小于曝光光斑的直径D。
公开/授权文献
- CN106449897B 基于激光直写工艺的量子结构的定位生长方法 公开/授权日:2019-01-15
IPC分类: