包括无机层中的高密度互连和有机层中的重分布层的集成器件
摘要:
一种集成器件(例如,集成封装),其包括集成器件的基底部分、第一管芯(206)(例如,第一晶片级管芯)、和第二管芯(208)(例如,第二晶片级管芯)。基底部分包括第一无机电介质层(203),位于第一无机电介质层中的第一组互连(280),不同于第一无机电介质层的第二电介质层(202),以及第二电介质层中的一组重分布金属层(230,240,250,260)。第一管芯耦合至基底部分的第一表面。第二管芯耦合至基底部分的第一表面,第二管芯通过第一组互连(280)电耦合至第一管芯。
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