用于处理具有表面的装置的方法及相应装置
摘要:
一种用于处理具有表面的装置的方法包括:将贵金属前驱体和磷酸铝前驱体施加于所述表面,以及,加热从而在所述表面获得含有贵金属和磷酸铝的覆层。一种相应装置包括具有含有贵金属和磷酸铝的覆层的表面。
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