发明授权
CN106483584B 基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置
失效 - 权利终止
摘要:
基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置,涉及光子晶体。依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板;所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处,当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后,会变成一束发散光,发散光经过凸透镜时,会变成一束平行光,这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上,多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整,使其产生多束相干光束,多束相干光束重叠在光刻胶板上,在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光,经过显影即得可变周期光子晶体。
公开/授权文献
- CN106483584A 基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置 公开/授权日:2017-03-08
IPC分类:
G | 物理 |
G02 | 光学 |
G02B | 光学元件、系统或仪器 |
G02B1/00 | 按制造材料区分的光学元件;用于光学元件的光学涂层 |