基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置
摘要:
基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置,涉及光子晶体。依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板;所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处,当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后,会变成一束发散光,发散光经过凸透镜时,会变成一束平行光,这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上,多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整,使其产生多束相干光束,多束相干光束重叠在光刻胶板上,在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光,经过显影即得可变周期光子晶体。
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