公开(公告)号：CN106483584A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201611255615.4

申请日：2016-12-30

申请人： 厦门大学

发明人： 何勇林 ,  炉庆洪 ,  高敏 ,  林国强 ,  杨志林

IPC分类号： G02B1/00 ,  G03F7/20

摘要： 基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置，涉及光子晶体。依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板；所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处，当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后，会变成一束发散光，发散光经过凸透镜时，会变成一束平行光，这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上，多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整，使其产生多束相干光束，多束相干光束重叠在光刻胶板上，在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光，经过显影即得可变周期光子晶体。

公开(公告)号：CN106483584B

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201611255615.4

申请日：2016-12-30

申请人： 厦门大学

发明人： 何勇林 ,  炉庆洪 ,  高敏 ,  林国强 ,  杨志林

IPC分类号： G02B1/00 ,  G03F7/20

摘要： 基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置，涉及光子晶体。依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板；所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处，当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后，会变成一束发散光，发散光经过凸透镜时，会变成一束平行光，这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上，多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整，使其产生多束相干光束，多束相干光束重叠在光刻胶板上，在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光，经过显影即得可变周期光子晶体。