具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法
摘要:
本发明公开了一种具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法,通过将压力控制器原有的一个采样点增加为两个采样点,其中一个采样点可继续采集工艺管排气端的压力,另一个采样点用于采集承载区域内的压力,并增加在工艺的不同阶段对第一、第二采样点进行切换的功能,实现不同工艺步骤对工艺管内压力的不同控制方法,从而可在满足原有的工艺压力控制需求的前提下,实现在工艺过程的升降舟阶段避免承载区域内气体进入工艺管的控制目标,减少了气流冲击对工艺产品表面膜厚均匀性的影响。
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