一种乙酸乙酯气体传感器及其制备方法
摘要:
一种以Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒敏感层组成;其中Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒的粒径为1~1.2μm。本发明的乙酸乙酯气体传感器,Al掺杂到立方体结构In2O3微米颗粒中引起晶格缺陷,这些晶格缺陷有利于提高气敏材料的气敏响应。同时本发明的工艺简单、制得的乙酸乙酯气体传感器体积小、适于大批量生产,因而具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点,对乙酸乙酯气体具有良好的检测性能。
公开/授权文献
0/0