发明公开
- 专利标题: 一种乙酸乙酯气体传感器及其制备方法
- 专利标题(英): Ethyl acetate gas sensor and preparation method thereof
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申请号: CN201610977931.6申请日: 2016-11-08
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公开(公告)号: CN106546637A公开(公告)日: 2017-03-29
- 发明人: 阮圣平 , 申婧丽 , 周敬然 , 温善鹏 , 郭文滨 , 沈亮 , 董玮 , 张歆东 , 陈川 , 孙亮
- 申请人: 吉林大学
- 申请人地址: 吉林省长春市前进大街2699号
- 专利权人: 吉林大学
- 当前专利权人: 重庆渝微电子技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市前进大街2699号
- 代理机构: 长春吉大专利代理有限责任公司
- 代理商 刘世纯; 王恩远
- 主分类号: G01N27/12
- IPC分类号: G01N27/12
摘要:
一种以Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒敏感层组成;其中Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒的粒径为1~1.2μm。本发明的乙酸乙酯气体传感器,Al掺杂到立方体结构In2O3微米颗粒中引起晶格缺陷,这些晶格缺陷有利于提高气敏材料的气敏响应。同时本发明的工艺简单、制得的乙酸乙酯气体传感器体积小、适于大批量生产,因而具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点,对乙酸乙酯气体具有良好的检测性能。
公开/授权文献
- CN106546637B 一种乙酸乙酯气体传感器及其制备方法 公开/授权日:2018-12-21